超高精度ナノインデンター / FemtoTools - フェムトツールズ

FemtoTools（フェムトツールズ）はスイスの、超高精度MEMS ベースのナノインデンターのメーカーです。金属、薄膜、微粒子、およびMEMSなどのマイクロシステム技術…等々、幅広いアプリケーションに用いられています。
従来のナノインデンテーションシステムは、コンポーネントの機械的な加工・組立て精度に基づく、荷重センシング技術によって計測するのが一般的でしたが、FemtoTools は半導体製造技術によって、荷重センサー全体を単結晶シリコンウエハーからモノリシックに加工・製造しています。
この構造は製造公差が非常に小さく、感度、分解能、および再現性において、得られる性能は、従来の技術の限界を大きく上回ります。さらに、センシング部品のサイズが小さいため、重量は従来の技術よりも桁違いに小さく、その結果共振周波数が高くなり、それに関連して高速イベントを測定したり、より高い周波数で疲労試験や周期試験を行うことが可能になりました。
筐体で使用するスタンドアローン機、SEM / FIB-SEM、EBSD等の検出器内に取付け、In-situ試験に使用するSEM用モデルを揃えています。また、加熱(800℃まで)、通電など環境を制御しながらの試験も可能です。

受賞
2009 Swiss Technology Award
RBR50 - 2014 年に世界で最も影響力のあるロボット企業トップ 50