結晶欠陥検出装置 フォトルミネッセンスイメージング装置

フォトルミネッセンス法 （Photo Luminescence）とは分光測定法の一種で、検査対象に光やレーザー等を照射したときに、検査対象が光子（Photon）を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。 フォトルミネッセンスイメージング装置は、高い解像度でフォトルミネッセンス画像（PL画像）を取得するだけではなく、分光情報も得られます。そのため半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することが可能です。装置はエントリーモデルから、ウエハの全面測定やカラーフォトルミネッセンス画像、量産工程用のモデルなど各種モデルをラインナップしております。

SiC評価用PLイメージング装置は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス（PL）画像を測定することができるPLイメージング装置です。
試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。