最先端のナノ・マイクロ微小領域の可視化と解析をサポートする
電子顕微鏡用周辺機器

西華デジタルイメージでは、ナノ領域、マイクロ領域での顕微観察領域のツールとして、長年にわたりTEM用カメラ、粒子解析ソフトウエアを製造してきたEMSIS社の商品や、SEM/FIB内に取り付け可能な押込み、圧縮、曲げ、引掻き、引張試験を実現するナノインデンター/メカニカルテスターを取り扱っております。

広視野観察に向いているサイドマウントタイプ（画素数2.8Mピクセル～16Mピクセル）と、高倍率で高分解能観察に向いているボトムマウントタイプ（画素数5Mピクセル～20Mピクセル）の2種をお取り扱いしております。TEM用デジタルカメラは高感度、高分解能、広視野、高速度が特徴であり、全機種ディフラクション・動画・パノラマ撮影・リアルタイムFFTをはじめとした各種オンライン機能に対応、バイオメディカルからマテリアルまで、わかりやすい操作で高品質の像が取得可能です。

EMSIS社の解析ソフトウェアは、各電子顕微鏡メーカーのデータフォーマットに対応しています。システム制御から画像の取り込み、処理、解析、変換やデータ管理までの一連の作業をスムーズに行うことが可能です。個数、長さ、面積、角度、ポリゴン、形状、濃度、座標など、多彩なデータ抽出機能を有しており、Microsoft Office出力に対応など、ユーザビリティの高い操作性になっています。日本語他、多言語に対応しています。 自動粒子解析、ステレオ３D、ディフラクション解析、トモグラフィなど、解析をアップグレードする多彩なオプションを装備しています。

電子顕微鏡(SEM/TEM)内に装着して、マイクロ/ナノサイズの構造の機械的特性（押し込み、圧縮、引張り、曲げ、引っ搔き、振動等）の試験をその場観察 ( in-situ ) 計測できるメカニカルテスターや、ナノインデンターを取り扱っています。ナノインデンテーション法では、測定対象へ加えた荷重と押し込み深さを荷重-変位曲線で表し、さらにそこから得られた情報を計算することで物質の硬度を評価します。また、電気試験や加温試験などにも対応します。光学顕微鏡が付属した単体稼働モデルと、SEMや光学顕微鏡、シンクロトンビームなどに取り付け可能なモデルもご用意いたします。最小荷重単位は1nN ～、最小変位検知は10pm〜となっており、高精度な解析が可能です。シリコン・石英ガラス・Ni合金などの素材のほか、深掘りエッチング(DRIE)、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでも活用可能です。また、得られた画像をもとに歪み・変位の分布を解析する、デジタル画像相関法(DIC)による解析ソリューションもございます。