In-situ SEM据付ナノインデンター／FT-NMT04

FemtoTools FT-S マイクロフォース センシング プローブ(FT-S Microforce Sensing Probe)は、センサープローブの軸方向に、サブnNから200mNの荷重を測定することができるセンサーです。圧縮/引張の両方の荷重を測定することができます。各プローブには、SIトレーサブルな事前キャリブレーションが施されており、優れた長期安定性と併せて、同クラスの荷重範囲の他の荷重センシングシステムよりも、大幅に高い測定精度が保証されています。2軸マイクロフォース センシング プローブやチップヒーティングなど、特殊なバージョンもご用意があります。

FT-Sマイクロフォース センシング プローブは、バーコビッチ・キューブコーナー・フラットパンチ・ウェッジ・コニカルなど様々な先端形状、シリコン・ダイヤモンド・タングステンなどさまざまな素材が用意されています。

FT-TT02ナノ引張試験チップ（FT-TT02 Nano-Tensile Testing Chip）は、STEMやTKDで観察しながら、小さく薄いサンプルの引張試験を行うことができます。 このMEMSベースの引張試験チップは、外側の固定フレームに4つのフレックスで吊り下げられた可動のボディで構成されています。

金属などの薄い試料は、このチップの可動部と固定部の隙間に固定します。試料の固定には、集束イオンビーム蒸着(IBID)または電子ビーム誘起蒸着(EBID)を用いることが多いです。

引張試験では、FT-NMT04に、先端がフック状になったFT-Sマイクロフォースセンシングプローブを取付け、、引張試験チップの可動部に力を加えます。

FT-NMT04は、In-situ SEM高温モジュールFT-SEM-HT04（FT-SEM-HT04 In-situ SEM High Temperature Module）で、アップグレードが可能です。このモジュールは、サンプルを最高800℃まで加熱することができます。先端にヒーターを内蔵したマイクロフォースセンシングプローブと組み合わせて使用し、サンプルの温度に合わせて圧子先端も局所的に加熱することができます。

このモジュールにより、FT-NMT04のほぼすべての機能 (高分解能・高反復率のナノインデンテーション、マイクロピラー圧縮、マイクロ引張試験、マイクロカンチレバー破断試験など)を、800℃までの温度で使うことができます。