ナノインデンター／FT-I04 Femto-Indenter

　ナノインデンターFT-I04 は、マイクロ・ナノスケールで材料の機械的特性やトライボロジー特性を正確に定量化できる、市場で最も高い分解能・高い精度を持つナノインデンター・ナノメカニカル試験装置です。
　FT-I04は、世界初のMEMSベースのナノインデンターとして、特許取得済みのFemtoToolsの Micro-Electro-Mechanical System（MEMS）技術を使用しています。20年以上にわたるイノベーションを活用したこのナノインデンターは、比類のない分解能、再現性、動的安定性を備えています。

　FT-I04は、金属・セラミック・薄膜・コーティングや、メタマテリアルのようなコンプライアンスに優れた微細構造物の機械的試験に最適化されています。また、FT-I04はモジュール化されており、様々な研究分野の多様な要求に対応するために、オプションモジュールで機能を拡張することができます。
　代表的なアプリケーションとしては、CSM(連続剛性測定)モードによる、押込み深さと、硬度や弾性率の関係の定量化、機械特性の高分解能マッピングなどがあります。さらに、オプションのモジュールにより、スクラッチ試験・摩耗試験・高解像度走査型プローブ顕微鏡（SPM）イメージング・高温試験（近日公開予定）も可能です。
　フェムトインデンターは、比類のない低ノイズフロア： 荷重500pN（実測値保証）、変位50pm(実測値保証)と、比較的大きな動作レンジ： 荷重200mN、変位20umにより、これまでにない精度と再現性で材料の機械的特性を、総合的に研究することができます。

FemtoTools FT-S マイクロフォース センシング プローブ(FT-S Microforce Sensing Probe)は、センサープローブの軸方向に、サブnNから200mNの荷重を測定することができるセンサーです。圧縮/引張の両方の荷重を測定することができます。各プローブには、SIトレーサブルな事前キャリブレーションが施されており、優れた長期安定性と併せて、同クラスの荷重範囲の他の荷重センシングシステムよりも、大幅に高い測定精度が保証されています。2軸マイクロフォース センシング プローブやチップヒーティングなど、特殊なバージョンもご用意があります。 FT-Sマイクロフォース センシング プローブは、バーコビッチ・キューブコーナー・フラットパンチ・ウェッジ・コニカルなど様々な先端形状、シリコン・ダイヤモンド・タングステンなどさまざまな素材が用意されています。 

スクラッチテストモジュール(FT-ST04 Scratch Testing Module)は、ピエゾスキャナーを内蔵した交換可能なサンプルステージで構成されています。垂直方向の力を加えながら、サンプルを水平方向に動かすこともできます。このモジュールと、2軸マイクロフォース センシング プローブを組み合わせることで、ナノインデンテーション、ナノスクラッチ、ナノ摩耗試験に加えて、表面粗さ・高アスペクト比の特徴点・残留スクラッチ・インデント等の、SPMイメージングも可能にします。