結晶欠陥検出装置 ラマン測定装置・歪シリコン測定装置

ラマン測定装置とは、物質に光を照射した際に、物質の散乱光に入射光とは異なる波長の光（ラマン錯乱:RamanScattering）を測定し、その分光情報を基に結晶化の程度や結晶格子の歪み、シリコン基板の応力測定を、顕微サンプル室を標準装備することで高精度な測定を実現しています。高性能顕微サンプル室を装備しており高精度測定を実現。波数分解能、空間分解能、短波長励起ラマン、高波長励起ラマン、低波数ラマン、歪シリコン応力など測定対象に応じた各種モデルをご用意しております。

分光器にトリプルスペクトログラフを搭載したJUPITERと、シングルスペクトログラフを用いたMARSの二種類を基に赤外、紫外などの波長性能を向上させたモデルをラインナップしています。