製品一覧
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電子顕微鏡用周辺機器
Alemnis-SEM-Indenter
- マテリアル,繊維・製紙,航空・宇宙,ナノインデンター,DIC
| メーカー名： | Alemnis |
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| 電子顕微鏡用周辺機器 | ダイナミック、加熱試験が可能な3軸SEM用ナノインデンター |
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Alemnis-SEM-Indenter
SEM用ナノインデンター標準モデル：Alemnis Standard Assembly（ASA）は、SEMに取り付け、マイクロ～ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得を、リアルタイムで行えます。高精度で、安定した変位/荷重制御が可能で、かつ最大荷重1.5Nのダイナミックな試験にも対応します。各モジュールを後付け可能です。筐体が設置できるスペースがあれば、あらゆる走査型電子顕微鏡（SEM）のチャンバーに取り付けることができます。ASAは、シンクロトロンビームラインの垂直方向など、その他の手法で必要な設置方向に応じて、チャンバー外でも、任意の角度で取り付け使用することができます。例えば、垂直方向にマウントし、シンクロトロンビームラインと使用することもできます。
製品特徴
- Alemnis 社SEM ナノインデンターは、SEM 等に取り付け、In-situ（その場観察）でマイクロ～ナノ領域の力学的試験が可能です。,押込み、圧縮、引張り、曲げ、引掻き、振動等の試験を正確で安定した変位・荷重制御で行い、リアルタイムで力学特データも取得できます。,シリコン・石英ガラス・Ni合金などの新素材や、深掘りエッチング（DRIE）、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでの基礎研究、産業用途でも活用されています。,SEM以外にも、光学顕微鏡、シンクロトロンビームなどでも使用可能です。
左側：押込み / 圧縮試験
右側：引掻き / 引張り試験
■ソフトウェア
カスタマイズ可能な、ナノインデンター制御用ソフトウェアAMICS-SCO/ AMICS-ECO：XYZマイクロポジショニング、試験設定、試験実行、結果保存（TDMSバイナリファイル）など。 荷重、変位、および事前設定したひずみ速度プロファイルの完全な制御も可能です。
ユーザーは、インデント、圧縮、張力、その他の実験に関する試験パラメーターを選択できます。
※オプション：ナノインデンターを他の機器（シンクロトロン、原子力ホットセルなど）に完全に統合するためのリモートコントロール（AMICS-ECO、イーサネットバス経由）
■アクチュエータ・センサーモデル
圧子のアクチュエータ、センサーは、高ひずみ速度試験、横方向荷重等の必要に応じて、適したモデルを選択できます。
■高温モジュール（HTM-1000） ※オプション
標準モデルに高温試験用モジュールを後付けし、高温状態での力学試験を行うことも可能です。
大気中では200度まで、それよりも高い温度では、真空中で試験をする必要があります（SEM内など）。
このモジュールは、圧子の加熱とサンプルの加熱機構が独立した構成になっています。
＜高温モジュール（HTM-1000）構成＞
・サンプルホルダー：最高1000℃（真空中）の加熱機能があります。
・圧子ホルダー：最高1000℃（真空中）の加熱機能があります。
・3つの温度センサー（分解能
■低温モジュール（LTM-CRYO） ※オプション
標準モデルに低温試験用モジュールを後付けし、低温状態での力学試験を行うことも可能です。
大気中でも使用可能ですが、サンプル表面に結露が発生する可能性があるため、真空中（SEM内など）での試験を推奨しています。
このモジュールは、圧子の冷却とサンプルの冷却機構が独立した構成になっています。
＜低温モジュール（LTM-CRYO）構成＞
・サンプルホルダー：最低120K（-150℃、真空中）の冷却機能があります。
・圧子ホルダー：最低120K（-150℃、真空中）の冷却機能があります。
・3つの温度センサー（分解能
STS-HP搭載例
■スクラッチ試験ステージ ※オプション
スクラッチ試験用ステージを追加することで、横方向への、スクラッチ試験が可能になります。
スクラッチ速度や計測分解能により、3つのパッケージからお選びいただけます。
（i）SPA-LR1：スクラッチパッケージ ロングレンジモデル1（SCO-AUX-PORT、ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTが必要）
SPA-LR1は、ラテラルフォースセンサー（LFS）+ AMICS-Scratch（マイクロポジショニングステージによるスクラッチ）で構成されています。
スクラッチの距離:最大10 mm、速度:最大10 mm / s、垂直方向および1軸の横方向の荷重測定。
X軸またはY軸のスクラッチ（LFSは測定したい方向に向けて装着する必要があります）
※：LSF用の追加のフィードスルーが必要です。
※：このオプションは標準のSmarActステージを使用します
（ii）SPA-LR2：スクラッチパッケージ ロングレンジモデル2（SCO-AUX-PORT、ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTが必要）
SPA-LR2は、ラテラルフォースセンサー（LFS）+ AMICS-Scratch（位置決めステージと低振動モードで強化されたスクラッチ性能）で構成されています。
スクラッチ距離:最大10 mm、速度:最大1 mm / s、垂直方向および1軸の横方向の荷重測定。
X軸またはY軸のスクラッチ（LFSは測定したい方向に向けて装着する必要があります）
※：LSF用の追加のフィードスルーが必要です。
※：このオプションは、低振動モードの標準SmarActステージを使用します
（iii）STS-HP：スクラッチパッケージ 高精度モデル（ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTでのECOが必要です）
STS-HPは、横力センサー（LFS）+ AMICS-スクラッチ+スクラッチテストステージ（STS）と外部HVアンプで構成されています。
スクラッチ距離:最大40 ?m、最大周波数5 Hz（往復）、高変位分解能、垂直方向および1軸の横方向荷重測定。X軸方向のみのスクラッチ。
スクラッチテストステージ（STS）は、次の2つのレンジから選択可能です。
STS-20：最大変位:20 ?m（分解能0.6 nm）
STS-40：最大変位40 ?m（分解能1.2 nm）
※：荷重と変位センサー用、また、変位アクチュエータ用の追加のフィードスルーが必要です。
※：高ひずみ速度用モデル（VHS-1-3、UHS-1-3、UHS-3-3）と併用して、短時間（最大4秒）の高速スクラッチテストも可能です。
※：スクラッチ試験専用のステージです。
製品仕様
- 変位ヘッド
- 最大変位40 ?m、変位分解能
- 荷重センサー
- 最大荷重：0.5 N（オプション1.５N）
RMSノイズ：4 ?N（＠200HZ、典型値）
Axial compliance：4.7um/N
- ピエゾポジショニングステージ
- 可動範囲：X軸・Y軸26 mm、Z軸26 mm
分解能:
- 付属品
- 標準スタブ（5個）
SEM内/大気側での操作用のケーブル・コネクタ
■実験例
ナノインデンテーション-マッピング
ピラー圧縮
カンチレバー曲げ
